统一TY135以硬核实力实现电子氟化液进口替代

半导体制造的精度竞赛，本质上是核心材料的技术竞赛。在干法刻蚀、晶圆清洗等关键制程中，电子氟化液作为"制程血液"，其分子结构稳定性、化学惰性及工艺适配性，直接决定了芯片良率与性能上限。长期以来，国内市场被3M、大金等国际巨头垄断，其技术壁垒与专利布局让国产替代举步维艰。而统一半导体专用电子氟化液TY135的成功研发，凭借一系列关键技术突破，彻底改写了这一格局，为国产材料树立了技术标杆。

进口电子氟化液的技术壁垒，集中体现在高纯度控制、低沸点稳定性及工艺兼容性三大维度。此前，国产同类产品普遍存在金属离子杂质超标、高温下易分解、与现有刻蚀设备适配性差等问题，导致国内晶圆厂不敢轻易替换。例如，某头部晶圆厂曾尝试使用某国产初代产品，因产品纯度仅达99.99%，导致晶圆表面出现微缺陷，良率骤降3个百分点，最终不得不回归进口依赖。这一困境，凸显了电子氟化液国产替代的核心——必须以极致技术指标打破信任壁垒。

统一T-lab低碳润滑实验室研发团队以“参数对标、性能超越”为目标，针对进口产品痛点开展定向攻关，构建了三大核心技术优势。在纯度控制方面，团队创新采用“多塔精馏-吸附除杂-离子交换”三重净化工艺，将产品纯度提升的同时，还对当中的金属离子杂质含量进行严格控制，从源头避免了杂质对晶圆电路的污染。

技术突破的背后，是完善的研发体系与严苛的质量控制。统一润滑油建立了涵盖原材料筛选、中间品检测、成品验证的全流程质控体系，引入了ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）、气相色谱-质谱联用仪等国际先进检测设备，实现了对30余种杂质成分的精准定量分析。同时，产品参照欧美PFAS法规要求，通过了国际权威机构SGS检测，各项技术指标均符合行业准入标准要求，为规模化应用提供了坚实保障。

统一TY135的技术破壁，不仅实现了电子氟化液的进口替代，更为国产半导体材料的研发提供了可借鉴的技术路径——以应用需求为导向，通过精准工艺优化与联合研发，实现从“跟跑”到“领跑”的跨越。